1、 验收应在对各部分工程做外观检查，单机试运转、系统联合试运转，动态和静态条件下的洁净室性能检测和调整以及对有关的施工检查纪录审查合格后进行。
2、 洁净室各部分工程的外观检查应符合下列条件：
2.1 高效空气过滤器与风管连接及风管与设备的连接处应有可靠密封。
2.2 净化空调器、静压箱、回风口无灰尘。
2.3 洁净室的内墙面、吊顶表面和地面，应光滑、平整、色泽均匀、不起灰尘、地板无静电等现象。
2.4 送、回风口及各类末端装置、各类管道、照明及动力线配管以及工艺设备穿越洁净室时，穿越处的密封处理应可靠严密。
2.5 洁净室内各类配电盘、柜和进入洁净室的电气线管管口可靠严密。
3、 验收的检测结果应全部符合设计要求，其检测项目应符合下列规定：
3.1 通风机的风量及转速的检测
3.2 风量的测定及平衡
3.3 室内静压的检测调整
3.4 自动调节系统联动运转
3.5 高效过滤器的检漏(检测)
3.6 室内洁净度级别(检测)
4、 洁净室验收时，施工单位应提供下列文件：
4.1 设计文件和变更的证明文件及有关协议和竣工图。
4.2 主要材料、设备和调节仪表的出厂合格证或检验文件。
4.3 单位工程、分部分项工程质量自检检验评定表。
4.4 土建掩蔽工程系统和管线掩蔽工程系统封闭纪录，设备开箱纪录，中间验收单，竣工验收单。
5、 技术指标
5.1 洁净度： 千级≥0.5微米的尘埃颗粒数≤35颗/升
万级≥0.5微米的尘埃颗粒数≤350颗/升
十万级≥0.5微米的尘埃颗粒数≤3500颗/升
三十万级≥0.5微米的尘埃颗粒数≤10500颗/升
采用Y09-6尘埃粒子计数器检测
5.2 室内噪声： ≤65dB 采用ND-12声级计检测
5.3 室内压差： ≥5Pa 采用YYT-200B斜管压差计检测
5.4 室内温度： 22±4℃
