1、概述
大型的设备在洁净室就位后就固定不动或相对地不移动。如果在设施完工后要撤走或重新就位这类设备，就需要极大的工作量。
2、洁净进入程序
要在洁净室中使用的设备，在可能时应该在洁净条件下制造，其包装程序也应该应洁净室内的要求。
把设备送入洁净室的过程不应增加对环境的污染。
进入“空态”或“静态”洁净室的设备应该正确地拆包、清洁，否则以后要做大量的洁净工作。特别应该注意的是设备进入“动态”洁净室前应该考虑的问题。这不仅会使洁净室处于污染的风险中，还会危及工艺过程中的产品，同样要求大量的洁净工作，而且还要按ISO 14644-2 重新认证洁净室。应该制定适当的策略，避免出现上述问题。
2.1 拆包
2.1.1 所有设备都要检查在运输中有无损坏。有疑问的或损坏的物品应该隔离在洁净室外或保护起来，待采取适当的行动。可能时，运输用的板条箱应该在洁净室邻近的未受控的环境内拆封。所有硬纸板和重型脱屑的材料都应先拆封，再运进受控环境。如果没有预包装，则设备的所有表面都应该预清洁，然后再运进洁净区。最好在设备用气闸内进行清洁。
如果设备过大，要求采用特殊的安装程序，则该区应该用临时的墙与周围的洁净室或其他受控区隔离开。设备应该分步进行拆包，控制污染进入洁净室。可以在气闸或洁净室附近专门临时修建的房间内拆掉最外面的薄膜材料，作进入洁净室前的清洁工作。
2.1.2 下面是拆包过程中应该遵循的步骤的一个例子：
1）对外层进行真空清洁，从顶部表面开始，向两侧吸进去。
2）用适当的清洁济擦拭外护层。
3）包装膜的外层应从顶部撕开一“I”型的口子，从顶部到底边剥离。然后把包装膜的底边提起，和侧边的膜一起剥下。
4）每层包装膜都要按2）和3）中的程序重复进行。设备的所有外部表面都要彻底清洁。
5）所有人员进入气闸前都要穿上适当的洁净服。
6）所有移动用、搬运用设备{1}的程序在气闸内进行清洁。
7）打开气闸洁净室一侧的门把设备运入洁净室前应该先清洁气闸室。
3、运输设备
大型设备应该拆卸（可能时）到能保证安全入室的大小，以使人和现有洁净室的风险降至最小。这些大的装置与固定的表面和其他工具接触时，可能会造成物理损坏和污染。任何用于打设备的提升、牵引或定位专用设备在进入洁净室前必须清洁。这类设备可能不是专为 洁净室设计和维护的，应该彻底的检验有无脱屑、剥落的表面或不宜于运入洁净室的材料。通常用与洁净室相容的塑料薄膜或带子包缠并密封这些工具即可。可以用洁净室专用带包住软橡胶轮，避免在地面上留下橡胶或塑料粒子的痕迹。(www.iwuchen.com)
4、安装程序
安装设备的有效方法是把设备与洁净室环境的其余部分隔离开，用临时的隔离墙或隔断设备周围，设备周围留出足够的空间，保证不妨碍设备的安装。
1）如果可能就通过服务通道或其它非关键区进入隔离区。如果不可能，应采取措施尽量减少由结构造成的污染。流向该隔离区的气流应该保持中性压力或负压，避免气流强制流出工作区带来污染的可能性。
2）完全密封的隔离区不应从内部加压，否则污染可能会穿透屏障，影响周围的洁净室。隔离区内应该阻断洁净空气的送风，避免给周围的洁净室造成压力。 如果只有通过相邻的洁净室才能进入隔离区，应该采用粘性垫，除掉鞋子上带的污染。进入隔离区后，可能要求用一次性靴子或鞋套来避免污染洁净服。离开隔离区前要把这些一次性物品脱下。
3）应该制定监控隔离区周围区域的方法和频率，确保能检测出任何渗漏进相邻洁净室内的污染。
4）然后，架设各种动力设施，如电、水、气体、真空、压缩空气何废水管道。应该注意对这些作业产生的烟气和残物尽可能全部加以控制和包纳，避免由于疏忽而弄到周围的洁净室内，这也有助于拆除隔离屏障前能有效的清洁。
5）然后应该采用认可的洁净程序清除整修隔离区的污染。所有表面都要真空清洁、擦拭和清理，包括所有的墙、固定的和便捷式的设备及地面。
6）要特别注意设备护板后面和设备下面区域的清洁。
7）现在可以作一些内部的准备工作和设备性能的初步测试，但最后验收的测试要求完全具备洁净室条件才行。
8）现在可以小心地拆除隔离墙，经过过滤的空气可以接入送风。进行这一步的时间应该仔细地选定，尽量减少对洁净室内正常工作的干扰。还可要求作粒子测量或测试。
9）设备内部和关键的加工小室应该在正常的洁净室条件下进行清洁和投入使用的准备工作。
10）对所有适当的内腔室和所有与产品接触或涉及产品传递的表面都要进行擦拭，达到要求的洁净度级别。设备的清洁程序应该是从顶到底，因为如果有粒子散布，较大的粒子会因重力而落到设备的底部或地面上。
11）清洁设备外部，顺序也是从顶到底。
12）必要时，应该检查产品或工艺要求非常关键的区域的表面粒子情况。
